Avèk devlopman rapid 5G, entèlijans atifisyèl (IA) ak Entènèt Objè yo (IoT), demann pou materyèl pèfòmans segondè nan endistri semi-kondiktè a ogmante dramatikman.Tetraklori zirkonyòm (ZrCl₄), kòm yon materyèl semi-kondiktè enpòtan, li vin tounen yon matyè premyè endispansab pou chip pwosesis avanse (tankou 3nm/2nm) akòz wòl kle li nan preparasyon fim high-k.
Tetraklori zirkonyòm ak fim ki gen yon nivo k wo
Nan fabrikasyon semi-kondiktè, fim ki gen yon rezistans k wo (high-k) se youn nan materyèl kle pou amelyore pèfòmans chip la. Pandan pwosesis retresi kontinyèl materyèl dyelèktrik tradisyonèl ki baze sou silikon (tankou SiO₂) yo ap fèt, epesè yo apwoche limit fizik la, sa ki lakòz yon ogmantasyon nan flit ak yon ogmantasyon siyifikatif nan konsomasyon enèji. Materyèl ki gen yon rezistans k wo (tankou oksid zirkonyòm, oksid afnyòm, elatriye) ka efektivman ogmante epesè fizik kouch dyelèktrik la, diminye efè tinèl la, e konsa amelyore estabilite ak pèfòmans aparèy elektwonik yo.
Tetraklori zirkonyòm se yon prekisè enpòtan pou preparasyon fim ki gen yon konstans k wo. Yo ka konvèti tetraklori zirkonyòm an fim oksid zirkonyòm ki gen gwo pite atravè pwosesis tankou depo vapè chimik (CVD) oswa depo kouch atomik (ALD). Fim sa yo gen ekselan pwopriyete dyelèktrik epi yo ka amelyore pèfòmans ak efikasite enèji chip yo anpil. Pa egzanp, TSMC te entwodui yon varyete nouvo materyèl ak amelyorasyon pwosesis nan pwosesis 2nm li a, tankou aplikasyon fim ki gen yon konstans dyelèktrik wo, ki te reyalize yon ogmantasyon nan dansite tranzistò ak yon rediksyon nan konsomasyon enèji.
Dinamik Chèn Apwovizyonman Mondyal la
Nan chèn ekipman pou semi-kondiktè mondyal la, modèl ekipman ak pwodiksyon antetraklorid zirkonyòmyo enpòtan anpil pou devlopman endistri a. Kounye a, peyi ak rejyon tankou Lachin, Etazini ak Japon okipe yon pozisyon enpòtan nan pwodiksyon tetraklori zirkonyòm ak materyèl ki gen gwo konstans dyelèktrik ki gen rapò.
Avansman teknolojik ak pèspektiv pou lavni
Avansman teknolojik yo se faktè kle nan pwomosyon aplikasyon tetraklorid zirkonyòm nan endistri semi-kondiktè a. Nan dènye ane yo, optimize pwosesis depo kouch atomik (ALD) la vin tounen yon sijè rechèch enpòtan. Pwosesis ALD a ka kontwole avèk presizyon epesè ak inifòmite fim nan nan nanoechèl la, kidonk amelyore kalite fim ki gen yon konstans dyelèktrik ki wo. Pa egzanp, gwoup rechèch Liu Lei nan Inivèsite Peking te prepare yon fim amorf ki gen yon konstans dyelèktrik ki wo pa metòd chimik mouye epi aplike li avèk siksè nan aparèy elektwonik semi-kondiktè bidimensyonèl.
Anplis de sa, pandan pwosesis semi-kondiktè yo kontinye ap avanse nan pi piti gwosè, dimansyon aplikasyon tetraklori zirkonyòm lan ap agrandi tou. Pa egzanp, TSMC gen plan pou reyalize pwodiksyon an mas nan teknoloji 2nm nan dezyèm mwatye 2025 la, epi Samsung ap aktivman ankouraje rechèch ak devlopman pwosesis 2nm li a tou. Reyalizasyon pwosesis avanse sa yo pa ka separe de sipò fim ki gen yon konstan dyelèktrik segondè, epi tetraklori zirkonyòm, kòm yon matyè premyè kle, gen yon enpòtans evidan.
An rezime, wòl kle tetraklori zirkonyòm nan endistri semi-kondiktè a ap vin pi enpòtan. Avèk popilarizasyon 5G, IA ak Entènèt Objè yo, demann pou chip pèfòmans segondè kontinye ogmante. Tetraklori zirkonyòm, kòm yon prekisè enpòtan nan fim ki gen yon konstan dyelèktrik segondè, pral jwe yon wòl iranplasabl nan pwomosyon devlopman teknoloji chip pwochen jenerasyon an. Nan lavni, avèk avansman kontinyèl teknoloji a ak optimize chèn ekipman mondyal la, kandida aplikasyon tetraklori zirkonyòm yo pral pi laj.
Dat piblikasyon: 14 avril 2025